Полировальный станок для металлов POLI-400L

прецизионныйс поворотным столомдля малых форм

POLI-400L - это малогабаритный химический механический полировальный станок для 4 и 6 дюймов, который принимает ручной метод загрузки, использует мембранную подушку безопасности для гибкого увеличения давления, и может быть оснащен системой контроля силы трения и температуры конечной точки, используется для планаризационной полировки оксидов, металлов, STI, SOI, MEMS и других продуктов. Области применения широки. Полный набор функций Обратное давление мембраны на пластину, полировальная пластина имеет встроенную систему охлаждения, комод с поворотным рычагом, функция контроля конечной точки трения и определения температуры является опциональной Простая операция Система управления ПК, сенсорный экран, ручная загрузка, автоматическая полировка CMP одной кнопкой. Хорошая совместимость 3 независимых трубопровода подачи шлама, легко заменяемая полировальная плита, сменная полировальная головка 4 или 6 дюймов, совместимость с пластинами различных размеров и типов. Небольшая площадь Минимизация площади чистого помещения.