Обзор продуктаОбеспечивает питание постоянным током для электрохимической полировки 300 мм пластин (ваферов) в производстве полупроводников. OEM-источник постоянного тока на 6 каналов в одном корпусе, содержащем шесть источников питания по 600 Вт. Встроенный автономный контроллер — работает самостоятельно после предварительной настройки.
Ключевые особенности- OEM 6-канальный источник постоянного тока
- Единый корпус с шестью источниками питания по 600 Вт
- Автономный контроллер — работает независимо после предустановки
- Поддержка нарастаний (ramp) и последовательностей
- Возможность взаимозависимой работы каналов
- Интерфейс DeviceNet
- Твердотельное переключение полярности
Технические характеристики- Каналы: 6
- Мощность на канал: 600 Вт
- Конфигурация: единый корпус с 6 источниками питания
- Управление: встроенный контроллер с программируемыми последовательностями и нарастаниями
- Связь: DeviceNet
- Переключение полярности: твердотельное
Применения- Электрохимическая полировка 300 мм ваферов
- Обработка тонких пленок и финишная обработка поверхностей
- НИОКР и производственные линии полупроводников
Интерфейсы и управление- Связь DeviceNet для интеграции с фабричной автоматизацией
- Программируемые нарастания, последовательности и взаимозависимости каналов для сложных процессов
- Твердотельное переключение полярности для быстрых и надежных смен полярности