Пропорциональный регулятор расхода Whisper™ MCW

с переменным давлениеммассовыйдля газа

Обзор

• Регуляторы массового расхода с низким падением давления, разработанные для газовых систем с ограниченным давлением источника; приборы создают минимальное падение давления (до 0,07 PSID).
• 98 предустановленных калибровок газов — переключение газа без потери точности.
• Измеряет массовый расход, объемный расход, температуру и давление.
• Мгновенный прогрев.
• Диапазон измерения 0,01–100% (турндаун 10 000:1) для некоторых диапазонов; типичные диапазоны управления зависят от серии.
• Технология измерения массового расхода по ламинарному перепаду давления (DP).
• Доступны конфигурации для двунаправленного управления потоком.
• Управляет и измеряет поток без потребления большого перепада давления.
• Ограниченная пожизненная гарантия.

Ключевые особенности (детали по сериям)

• Серия MCW: Быстрое пропорциональное управление; варианты от 0,5 SCCM–1 000 SLPM; рабочее давление до 60 PSIA; точность до ±0,6% от показания или ±0,1% от полного масштаба; диапазон управления 0,5–100% (турндаун 200:1); время реакции управления 30 мс.
• Серия MCDW: Двунаправленные регуляторы потока для приложений, требующих управления в обоих направлениях; варианты от 0,5 SCCM–500 SLPM; рабочее давление до 60 PSIA; точность до ±0,4% от полного диапазона на ± полный масштаб; диапазон управления 0,5–100% (турндаун 200:1); время реакции управления 100 мс; поддерживает контроль давления в замкнутом объеме и измерение потока для проверки утечек.
• Другие варианты: MC (стандартные ламинарные DP MFC), SFF/MCV (вакуумные давления, SEMI-футпринт), IS-Max (взрывозащищенное, искробезопасное исполнение) и множественные топ-уровневые номера частей MCW/MCDW для конкретных полношкалных потоков.

Технические листы (доступные диапазоны)

• 0,5–5 SCCM
• 10 SCCM–100 SLPM
• 250–1000 SLPM
• MCDW: 0,5 SCCM–500 SLPM

Опции конструкции (таблица)
Протоколы связи: RS-232 (по умолчанию); RS-485; Аналоговый (4-20 mA, 0-10 V, 0-5 V, 1-5 V); Modbus RTU (по RS-232/RS-485); Modbus TCP/IP; DeviceNet; EtherCAT; EtherNet/IP; PROFIBUS; PROFINET; IO-Link
Дисплеи: Подсвечиваемый монохромный (по умолчанию) или TFT цветной; интегрированный или панельный; без дисплея
Процессные соединения: 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, компрессионные фитинги
Степень защиты: IP40 (по умолчанию); IP66; IP67
Сертификации для опасных сред: CSA Class 1 Div 2, ATEX Class 1 Zone 2 (опция сборки -X C1D2). Для некоторых сертификатов опасных сред используется legacy 7V прошивка.
Влажные газы: Компенсация относительной влажности

Примечания по опциям конструкции

• Опция C1D2 (-X): точность до ±0,8% от показания и один тотализатор; встраиваемые блокирующие разъемы (IC, DB15, DB9) нельзя подключать/отключать в опасной зоне; установка в корпусе не ниже IP54, недоступном в ходе нормальной эксплуатации без инструментов; электроника размещена в алюминиевом корпусе; для некоторых конфигураций используется legacy 7V прошивка.

Загрузки и программное обеспечение

• Доступны руководства по эксплуатации (последние и legacy версии прошивки) и брошюра Whisper Series.
• Предоставляются программные утилиты и драйверы (FlowVision, драйверы LabVIEW, сериал-утилиты, библиотека Python) для настройки прибора и сбора данных.

Доступные варианты / примеры топ-уровневых номеров деталей

• MCW-0.5SCCM, MCW-1SCCM, MCW-2SCCM, MCW-5SCCM, MCW-10SCCM, MCW-20SCCM, MCW-50SCCM, MCW-100SCCM, MCW-200SCCM, MCW-500SCCM, MCW-1SLPM, MCW-2SLPM, MCW-5SLPM, MCW-10SLPM, MCW-20SLPM
• MCHW-2SCCM, MCHW-5SLPM, MCPHW-100SLPM, MCPW-2SLPM, MCPW-5SLPM, MCPW-10SLPM, MCPW-20SLPM
• MCRHW-500SLPM, MCRHW-1000SLPM, MCRW-5SLPM, MCRW-10SLPM, MCRW-20SLPM, MCRW-40SLPM, MCRW-50SLPM, MCRW-100SLPM, MCRW-250SLPM, MCRW-500SLPM, MCRWH-1000SLPM, MCRWS-500SLPM, MCTW-2SCCM

Технические характеристики

• Диапазоны полных шкал: 0,5 SCCM–1 000 SLPM (зависит от серии)
• Диапазоны расходометров (сопутствующие продукты): 2 SCCM–1 000 SLPM
• Диапазоны регуляторов расхода: 2 SCCM–1 000 SLPM (зависит от серии)
• Диапазон рабочего давления (MCW типично): 11,5–60 PSIA; некоторые серии до 60 PSIA
• Точность: до ±0,6% от показания или ±0,1% от полного масштаба (MCW); двунаправленная точность MCDW до ±0,4% полного диапазона на ± полный масштаб; опция C1D2 точность до ±0,8% от показания
• Отношения turndown: до 10 000:1 турндаун измерения (0,01–100% для выбранных диапазонов); 200:1 турндаун управления (типично)
• Время реакции управления: 30 мс (MCW типично); 100 мс (MCDW двунаправленный)
• Выходы измерения: массовый расход, объемный расход, температура, давление
• Калибровки газов: 98 предустановленных калибровок газов
• Связь: Аналог (4-20 mA, напряжение), RS-232, RS-485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
• Дисплеи: Подсвечиваемый монохром (по умолчанию) или TFT цветной; интегрированный, панельный или отсутствует
• Процессные соединения: 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, компрессионные фитинги
• Варианты степени защиты: IP40 (по умолчанию); IP66; IP67
• Сертификации/опции для опасных сред: CSA Class 1 Div 2, ATEX Zone 2 через опцию -X; для непрерывных опасных зон рассмотреть IS-Max серию (искробезопасную)
• Компенсация по окружающей среде: компенсация относительной влажности для влажных газов
• Гарантия: Ограниченная пожизненная гарантия