Пропорциональный регулятор расхода MC

с переменным давлениеммассовыйдля газа

Обзор
Быстрые контроллеры массового расхода, использующие технологию измерения по ламинарному дифференциальному давлению (DP) для автоматизированного измерения и управления газами. Разработаны для промышленных процессов и исследовательских приложений с широкими вариантами полных шкал по расходу и давлению, несколькими серийными вариантами под разные задачи и множеством опций по коммуникациям и конструкции.

Ключевые особенности

• Технология измерения массового расхода на основе ламинарного DP (дифференциального давления)
• Измеряет массовый расход, объемный расход, температуру и давление
• 98–130 предустановленных калибровок газов (в зависимости от серии)
• Сверхбыстрое время реакции управления — от 30 мс
• Диапазон измерения и управления до 0,01% – 100% (10 000:1) для некоторых вариантов
• Диапазоны рабочего давления от низкого вакуума до высоких давлений в зависимости от серии
• Ограниченная пожизненная гарантия

Основные показатели

• Диапазоны полной шкалы: 0.5 SCCM – 12 000 SLPM (зависит от серии и модели)
• Диапазон рабочего давления (примеры): 11.5 – 160 PSIA (типичная серия MC), до 320 PSIA для вариантов высокого давления
• Примеры точности: до ±0.5% от показания или ±0.1% от полной шкалы (берется большее значение) для стандартного MC; коррозионностойкие варианты достигают ±0.4% от показания и ±0.2% от полной шкалы
• Время реакции управления: до 30 мс (некоторые варианты высокого давления 100 мс)

Доступные серии и назначение

• MC Series — флагманские универсальные контроллеры массового расхода на основе ламинарного DP; быстрое пропорциональное управление; широкий выбор потоков (0.5 SCCM – 12 000 SLPM)
• MCS Series — коррозионностойкие контроллеры с уменьшенными мокрыми материалами; до ~130 предустановленных калибровок для агрессивных и неагрессивных газов; примеры точности ±0.4% показания / ±0.2% полной шкалы
• MCQ Series — контроллеры для высоких давлений, для процессов с повышенным давлением; работу на более высоких PSIA-рейтинг с соответствующими компромиссами по точности
• BIOC Series — контроллеры для биореакторов и ферментеров; соответствие ASME BPE, долгосрочная стабильность, соответствующие материалы (включая эластомеры USP Class VI) и проектирование для масштабирования (диапазон 10 000:1)
• MCD Series — двунаправленные контроллеры массового расхода с двумя клапанами для управления потоком в двух направлениях
• MCT Series — устройства для переключения между двумя источниками газа (два источника, одно устройство)
• MCW / MCWD — низкодавление ламинарные DP MFC
• SFF / MCV — опции для вакуумных давлений и SEMI-форм-фактора
• IS‑Max — искробезопасные MFC для взрывоопасных атмосфер

Опции сборки и выбор
Протоколы связи: RS-232 Serial (по умолчанию); RS-485 Serial; Аналоговый (4–20 mA, 0–10 Vdc, 0–5 Vdc или 1–5 Vdc); Modbus RTU (по RS-232 или RS-485); Modbus TCP/IP; DeviceNet; EtherCAT; EtherNet/IP; PROFIBUS; PROFINET; IO-Link
Дисплеи: подсвечиваемое монохромное (по умолчанию) или TFT цветное; встроенное или для монтажа в панель; без дисплея
Процессные соединения: 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, компрессионные фитинги (варианты зависят от модели)
Степень защиты: IP40 (по умолчанию); опционально IP66, IP67
Классы для опасных сред: опции для CSA Class 1 Div 2 и ATEX Class 1 Zone 2 (зависят от серии/опции)
Влажные газы: доступна компенсация относительной влажности
Технология измерения: ламинарное дифференциальное давление (laminar DP) с компенсацией по температуре и давлению

Семейства спецификаций / группы моделей

• Спецификации семейства MC (группы низкой/средней/высокой полных шкал покрывают 0.5–12 000 SLPM в зависимости от диапазона)
• Спецификации MCS покрывают коррозионностойкие опции и их диапазоны
• Спецификации MCQ покрывают опции контроллеров для повышенного давления
• Спецификации BIOC покрывают диапазоны и соответствие для биореакторов/ферментеров

Дополнительные заметки
Многие приборы серии MC доступны с опциями для взрывоопасных зон, различными вариантами дисплеев и разъемов, а также широким набором протоколов связи и фитингов. Приборы изготавливаются под заказ с выбором калибровок и опций точности.

Технические характеристики

• Метод измерения: ламинарное дифференциальное давление (laminar DP) с коррекцией по температуре и давлению
• Измеряемые параметры: массовый расход, объемный расход, температура, давление
• Полные шкалы расхода: 0.5 SCCM – 12 000 SLPM (зависит от модели)
• Примеры перечисленных диапазонов: 0.5 SCCM, 1 SCCM, 2 SCCM, 5 SCCM, 10 SCCM, 20 SCCM, 50 SCCM, 100 SCCM, 200 SCCM, 500 SCCM, 1 SLPM, 2 SLPM, 5 SLPM, 10 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, 250 SLPM, 500 SLPM, 1 000 SLPM и т.д.
• Рабочее давление: типичный MC 11.5 – 160 PSIA; MCQ до 320 PSIA (зависит от варианта)
• Точность: до ±0.4%–±0.6% от показания или ±0.1%–0.2% от полной шкалы в зависимости от серии и калибровки
• Диапазон управления / turndown: до 10 000:1 для некоторых MC/BIOC вариантов; другие 200:1 или 1–100% в зависимости от серии
• Время реакции управления: до 30 мс; некоторые высоконапорные варианты ~100 мс
• Предустановленные калибровки газов: обычно от нескольких десятков до более ста (напр., 98–130 в зависимости от серии)
• Дисплеи: монохромный с подсветкой или TFT цветной, интегрированный или для панели, либо без дисплея
• Коммуникации: аналог, RS-232, RS-485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
• Процессные соединения: 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, компрессия (зависит от модели)
• Опции IP: IP40 по умолчанию; IP66 / IP67 опционально
• Опция зоны опасности: -X build для CSA Class 1 Division 2 / ATEX Zone 2; IS-Max серия доступна в выполнении с искробезопасностью для более опасных зон