Плазменный генератор радиочастота Paramount Plus

Многоуровневая пульсация и управление формой импульсной волны для новых плазменных приложений Получите самый широкий набор функций, доступный в импульсно-частотном приборе. Paramount Plus обеспечивает точное регулирование РЧ, сложное управление импульсами и расширенный сбор данных. Разработанный для работы с широким диапазоном ВЧ-энергии - частотами от 1 до 60 МГц и уровнями мощности от 1,5 до 15 кВт - Paramount Plus обеспечивает необходимую вам повторяемость и надежность. Paramount® Plus Импульсные РЧ источники питания Благодаря многоуровневому пульсированию, управлению формой импульсной волны и самому широкому широчайший набор функций, доступный в импульсных РЧ-продуктах, платформа Paramount® Plus позволяет расширить границы инновационных процессов и обеспечивает лучшую стоимость на рынке обеспечивает лучшую стоимость на рынке. Превосходная стабильность плазмы, точная ВЧ-регуляция, сложная манипуляция импульсами и передовые технологии сбор данных обеспечивают широчайшие возможности управления плазмой, необходимые для узлов следующего поколения. ПРЕИМУЩЕСТВА ДЛЯ ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ точное ВЧ- и импульсное управление повышенная стабильность плазмы и воспроизводимость процесса быстрая реакция на изменения в плазме гибкость и адаптируемость к современным технологиям производства ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИЛОЖЕНИЯ pVD pECVD травление