Плазменный генератор радиочастота Paramount

Продвигайте свои технологические разработки, уделяя особое внимание гибкости в работе. ВЧ-генераторы Paramount® обладают широким диапазоном мощности, поддерживают множество сценариев интеграции и оснащены стандартными последовательными/аналоговыми интерфейсами и другими дополнительными интерфейсами связи. Paramount HF обеспечивает высокую плотность плазмы и энергию ионов, необходимую для устройств с высоким соотношением сторон, и ускоряет процесс для следующего узла инструментов обработки полупроводников. Цифровая архитектура платформы Paramount обеспечивает точное управление питанием и упрощает интеграцию новых функций - не требуется ни времени подготовки, ни изменения аппаратного обеспечения. Высокая выходная мощность и повторяемость характеристик достигаются благодаря обнаружению изменений в плазме в режиме реального времени. А пределы внутренней защиты обеспечивают надежную работу. - Полностью цифровое управление - Настройка частоты, импульсов и синхронизация импульсов - Измерение мощности и импеданса в реальном времени - Управление дугой - Фазовая синхронизация (CEX) - Повышение стабильности плазмы и воспроизводимости процесса - Точный контроль мощности радиочастотного излучения - Быстрое реагирование на изменения плазмы - Легко адаптируется для удовлетворения специфических потребностей приложения