Программируемый плазменный генератор eVerest RF

радиочастота

В то время как полупроводниковая промышленность стремительно движется к новому витку развития, ВЧ-генератор eVerest® восполняет потребность в трансформационном управлении плазмой. Его настраиваемый многоуровневый импульс обеспечивает мгновенное или задаваемое пользователем время перехода. Кроме того, высокоскоростная и высокоточная настройка частоты на основе модели с широким диапазоном развертки частоты обеспечивает большую стабильность процесса и контроль. Эти возможности, а также более быстрый отклик на заданное значение, контролируемый перерасход в начале пульсирующего состояния и сложная интеллектуальная система PowerInsight by Advanced Energy™ IoT позволяют внедрять инновации в технологические процессы для следующего технологического узла. Особенности Полноценная система доставки радиочастотного сигнала, множество вариантов согласования и интеллектуальная синхронизация Скорость и контроль в программируемых многоуровневых профилях импульсов Высокоскоростной выходной РЧ-отклик и время нарастания/спада импульсного состояния Диапазон перестройки частоты до ±10% Разработанная стабильность dP/dZ Экосистема PowerInsight by Advanced Energy™ IoT Преимущества Позволяет разрабатывать новые технологические процессы для профилей осаждения и травления < 2 нм Обеспечивает надежное зажигание с ВЧ-стабильностью независимо от длины кабеля Легко интегрируется в любую плазменную систему Увеличивает технологическое пространство и расширяет окно стабильности Поддержка продуктов и приложений по всему миру в местных сервисных центрах