Возможность измерения одноканальной температуры с возможностью выбора/фиксированной излучающей способности
Sekidenko OR400M предлагает точное измерение температуры, необходимое для полупроводниковых приборов, требующих более длинных волн.
-Настраиваемая длина волны в зависимости от типа материала и требуемого диапазона температур
-Интегрированный оптический датчик
-И аналоговая, и цифровая связь с дополнительными протоколами Fieldbus для управления по замкнутому контуру
Обзор
Оптический пирометр Advanced Energy OR400M расширяет возможности семейства продуктов Sekidenko в диапазоне средних ИК-волн от 3,3 до 5,2 мкм.OR400M предлагает возможность одноканального измерения температуры для тонкопленочных солнечных, стеклянных и передовых полупроводниковых процессов. OR400M поддерживает интерфейсы RS-232 и аналоговые интерфейсы данных. Благодаря своей компактной конструкции OR400M легко справляется со многими технологическими задачами, предъявляемыми к небольшим площадям.
Преимущества
-Улучшает точность измерения температуры для критических процессов
-Увеличивает повторяемость и сводит к минимуму отклонения
-Увеличивает производительность, урожайность и пропускную способность
-Увеличивает стабильность и надежность при работе с несколькими камерами и материалами подложки
Особенности
-Бесконтактное измерение температуры с помощью линзовых оптических датчиков
-Автоматическая тепловая коррекция окружающей среды
-Лучшая в отрасли температура и скорость считывания данных
-Высокогибкая модульная платформа с гибкой архитектурой
-Полный набор входов/выходов и внешнего триггера/комплекта синхронизации
---