Пирометр для материалов с отражающей поверхностью UV 400, UVR 400

без дисплеяRS485стационарный

Измерение истинной температуры поверхности пластин и отражательной способности для эпитаксии на основе GaN, от 650 до 1300°C Пирометры Advanced Energy UVR 400 и UVR 400 измеряют непосредственно температуру поверхности пластин, а не традиционную температуру кармана/скриптора. -Широкий температурный диапазон (от 650 до 1300°C) позволяет охватить как рост основного буфера, так и рост MQW -Измерение толщины осаждения с помощью дополнительного рефлектометра на УФР 400 на расстоянии 635 нм -Регулируемая излучательная способность, проницаемость и поддиапазон Обзор Пирометры Advanced Energy UVR 400 и UVR 400 непосредственно измеряют температуру поверхности пластин. Этот усовершенствованный метод позволяет более точно контролировать температуру пластин, что приводит к повышению их выхода. UVR 400 включает в себя дополнительный рефлектометр на 635 нм со скоростью измерения 0,5 кГц. Это позволяет измерять толщину осаждения. Эти системы устанавливают новые стандарты для светодиодных производственных процессов. Результаты показывают надежную корреляцию между температурой процесса и длиной волны конечного продукта. Преимущества -Увеличенный выход за счет точного измерения температуры пластинки Измерение температуры непосредственно на слое GaN с помощью УФ-измерительных приборов длины волны -Измерение отражающей способности в реальном времени с использованием быстрого пульсирующего источника света -Предотвращение колебаний температуры остатков в пирометрах с ИК-компенсированной излучательной способностью Предотвращение перекоса данных из-за задержки отбора проб (без включения и выключения затвора) Особенности -Реальная температура пластин с корреляцией длины волны PL -Выход аналогового сигнала и RS485 с доступными интерфейсами протокола UPP -Регулируемый поддиапазон в пределах диапазона температур -Устройство выдерживает атмосферу азота и вакуума (< 10 мбар)