Роботизированное оборудование погрузки/разгрузки WHM

встроенноедля полупроводниковой пластины

Разработанный компанией Adenso модуль WHM WaferHandling.Module с центральной вакуумной камерой и встроенным роботом WHR WaferHandling.Robot оптимизирован для перемещения подложек/носителей в высоком вакууме. Наш модуль WHM WaferHandling.Module работает полностью автономно, занимает мало места и может быть легко подключен к уже работающим технологическим станциям - ваш инструмент Vacuum.Cluster готов! WHR WaferHandling.Robot Вакуумная камера с 4-8 портами Модули LLM LoadLock.Modules STEALTH.CARRIER WAM WaferAlignment.Modules FLP FOUP300 VAC.LOADPORT Робот Adenso WHR WaferHandling.Robot является сердцем нашей модульной платформы VAC.ROBOTICS. Adenso.WHR выполняет задачи по обработке чувствительных и больших подложек в вакуумной робототехнике (промышленный VacBot) и оптимизирован для максимальной грузоподъемности и большого радиуса действия. Простая геометрия манипулятора позволяет использовать небольшие задвижки и компактные зоны вращения манипулятора. Ваши преимущества с первого взгляда Радиус действия: самые большие расстояния перемещения - максимальная гибкость ЗАГРУЗКА: Максимальная грузоподъемность - неограниченный выбор подложек ЗАДНИЙ КЛАПАН: Интеллектуальная кинематика - самая маленькая задвижка ПЛОСКОСТЬ: Экономия места - кинематика - минимальное монтажное пространство КОМПЛЕКТНОСТЬ: Будьте проще с Adenso - экономьте место и деньги!