Машина для нанесения покрытий CVD ULCoat

Вводя прекурсор в плазму после разряда, ULCoat наносит тонкие слои на обрабатываемую поверхность. ULCoat - это система, которая испаряет и впрыскивает прекурсор под плазменное сопло. ULCoat используется в сочетании с генератором OMEGA ULS. Стандартная установка была разработана для осаждения SiOx с использованием металлоорганического прекурсора. Однако по запросу могут быть разработаны другие рецепты. Лаборатория разработки процессов AcXys Technologies к вашим услугам для разработки приложения, отвечающего вашим потребностям, в рамках контракта на исследования и разработки. Технология ULCoat - Соединяется с модулем ULS OMEGA - Используется для осаждения тонких слоев - Регулируемая толщина от 50 до 1000 нанометров - Равномерная толщина с отклонениями +/- 2% - Скорость обработки до 200 нм.см2 / с - Стандартная версия оптимизирована для осаждения SiOx Инжекционное сопло Поток прекурсора контролируется перед его инжекцией в плазму. Этот модуль сочетает в себе следующие элементы: - резервуар для прекурсора - Контроль потока прекурсоров - Контроль потока газа - Нагревательный компонент (опция) Интуитивно понятный цифровой интерфейс сенсорный экран - Встроенный сенсорный экран (выносной, если требуется OEM) - Интуитивное управление - Многоязычный интерфейс - Обнаружение ошибок и устранение неисправностей - Отображение инструкций в реальном времени Совместимый газ - Воздух - Азот - Другие газовые смеси