Компания TMC продолжает применять передовые технологии для разработки новых решений, отвечающих сложным требованиям, которые предъявляют полупроводниковые инструменты к системам виброизоляции. Система Stage-Base 450 специально разработана для использования в качестве основной системы подавления вибраций в современных полупроводниковых инструментах, которые включают высокоточные моторизованные X-Y каскады. Хотя такие инструменты требуют чрезвычайно эффективного подавления вибрации, не менее важно, что они требуют, чтобы движение полезной нагрузки, вызванное каскадом, быстро успокаивалось, чтобы максимизировать производительность инструмента. С добавлением VCM с управлением с обратной связью для еще более быстрого времени успокоения для дальнейшего увеличения пропускной способности, результатом является самая передовая система активного подавления вибрации и движения для приложений с подвижным каскадом.
Преимущество сценической базы
Stage-Base 450 - это следующее поколение активных пьезоэлектрических систем подавления вибрации с жестким креплением, интегрирующих технологию звуковой катушки. Только TMC может предложить эту уникальную технологию последовательного типа для усовершенствованного подавления низкочастотной вибрации с моторами со звуковой катушкой (VCM) для агрессивного подавления движения движущейся сцены.
Система активного управления нового поколения Stage-Base 450 включает в себя технологию STACIS компании TMC для достижения экстремального подавления вибрации с помощью пьезоэлектрических актуаторов и жесткой подвески в архитектуре последовательного типа. В результате достигается непревзойденная в отрасли виброизоляция пола от 0,6 Гц при значительно меньшем начальном прогибе в ответ на усилия сцены.
-Включает в себя уникальную технологию STACIS®
-Использует пьезоэлектрические актуаторы с большим усилием и увеличенным ходом
-Повторяемость позиционирования полезной нагрузки с точностью до микрона
-Монтируемая на раму конструкция
-6 активных степеней свободы
---