Емкостный мембранный вакуумметр ZNX series

аналоговыйс контроллеромкомпактный

Датчик ZNX представляет собой бесконтактную систему измерения положения, основанную на принципе микрометрии емкости. Две пластины датчика (мишень и зонд) образуют параллельный пластинчатый конденсатор. Расстояние между этими пластинами может быть измерено с помощью соответствующего электронного контроллера с точностью до 0,1 нм, с диапазоном до 1,25 мм, частотной характеристикой до 5 кГц и линейностью до 0,02%. Поскольку датчик ZNX является бесконтактным методом, в нем отсутствует гистерезис. В точке измерения не рассеивается энергия. - Точность измерения до пикометров - Стабильность измерений - Возможность настройки в соответствии с требованиями приложения - Опции для широкого спектра применений -Основные характеристики Диапазон 20 ~ 1250 мкм; Субнанометровое позиционное разрешение; Нулевой гистерезис; Погрешность линейности до 0,02%; Полоса пропускания до 5 кГц; Доступны условия Super Invar; Опции, совместимые с вакуумом; Погрешность линейности (%):<0,08, <0,08, <0,06, <0,05; Короткий диапазон мкм: 20, 100, 250; Длинный диапазон мкм: 50, 100, 500; Аналоговый выход: ± 5, ± 5, ± 5, ± 5, 8; Максимальная полоса пропускания: 5, 5, 5, 12,5 КГц.