Измерительная система для полупроводниковых пластин

эффекта Керраоптическаяс лазером

Используя полоидальный магнито-оптический эффект Керра (MOKE), магнитные свойства стеков вафли быстро и глобально обнаружены. Бесконтактное измерение позволяет избежать повреждения пластины традиционной магнитной характеристикой и может применяться для обнаружения образцов до и после нанесения рисунка. Вафельный Moke может обеспечивать вертикальное магнитное поле до 2,5 Тл/плоское магнитное поле 1,3 Тл, а сильное магнитное поле может вызывать переворачивание свободного слоя, опорного слоя и закрепленного слоя вертикальной анизотропной магнитной памяти с произвольным доступом (MRAM) пленочной стека; Сверхвысокая чувствительность обнаружения Керра, которая может характеризовать тонкие магнитные изменения различных слоев пленки одновременно. Сочетание точечного лазерного обнаружения со сканирующей визуализацией может быстро создать глобальную карту магнитных свойств пластин, помогая оптимизировать процесс и контролировать выход. Показатели эффективности и преимущества ▹Размер выборки: поддерживает тестирование пластин до 12 дюймов и обратно совместим, поддерживает тестирование фрагментов; ▹Магнитное поле: максимальное вертикальное магнитное поле лучше ± 2,5 Тл, а разрешение магнитного поля составляет 1 мкТл; ▹Чувствительность магнитного обнаружения: степень обнаружения угла поворота Керра лучше 0,3 мград (RMS), что подходит для магнитной характеристики многослойных пленочных стопок; ▹Точность позиционирования повторения образца: лучше ± 1 мкм, статическое дрожание ≤ ± 0, 25 мкм.