XY-XLS состоит из двух ступеней XLS, сложенных друг на друга без использования дополнительной адаптерной пластины. С XY-XLS можно позиционировать в 2-DOF с нанометровой точностью и повторяемостью. Благодаря принципу ультразвукового привода каскада XLS, XY-XLS имеет длительный срок службы, быструю, бесшумную работу и сохраняет свое положение при выключенном питании. Можно даже двигаться с очень низкой и постоянной скоростью (мкм/с).
Эти особенности делают его идеальной ступенью микроскопа или мульти-DOF позиционером для решения задач материаловедения. XY-XLS может использоваться в вакууме и изготавливаться из немагнитных материалов.
---