Xeryon Linear Stage (XLS) - это точная линейная ступень, приводимая в действие бесшумным ультразвуковым пьезодвигателем. Это обеспечивает быстрое позиционирование с нанометровой точностью. Самоблокирующийся пьезодвигатель удерживает позицию столика, когда он не работает. В результате значительно снижается потребление энергии и производство тепла. Встроенный энкодер имеет разрешение 10 нм.
---