Применение
Производство полупроводников, плоских дисплеев и фотоэлектрическая отрасль промышленности
Подвод сверхчистого газа в полупроводниковых производственных системах
Особенности
Высокая точность измерения давления 0,15 % от ВПИ
Превосходная долговременная стабильность
Сигнал шумоподавления и экранирование
Вакууметрическое измерение давления
Активная температурная компенсация