Система обогрева STREAMLINE™

Нагрев и управление тепловыми процессами на газопроводах, линиях подачи и вытяжных линиях в полупроводниковом оборудовании обычно сложны из-за большого количества компонентов и лабиринта проводов, расположенных на небольшой площади. Эти факторы делают установку и обслуживание громоздкими, трудоемкими и дорогостоящими. Кроме того, современные заказчики требуют больше тепловых данных о состоянии системы для обеспечения равномерности температуры, что необходимо для поддержания бесперебойной работы линий. Кроме того, цикличность рынка полупроводников может привести к длительным срокам поставки, когда предложение не успевает за спросом. Эти и другие проблемы делают работу инженеров по полупроводниковому оборудованию более сложной, чем когда-либо прежде. Благодаря многолетнему опыту работы на рынке полупроводников и глубоким знаниям в этой области компания Watlow® недавно разработала решение STREAMLINE™ для тепловых систем подачи газа с использованием своих запатентованных технологий Adaptive Thermal Systems® (ATS™), которое может помочь решить проблемы рынка, связанные со сложностью типовых систем. Решение Watlow представляет собой инновационную, динамичную и комплексную тепловую систему, обеспечивающую равномерность температуры, уменьшение занимаемой площади, расширенную диагностику и ускорение сроков разработки. Компания Watlow удалила из нагревателей ненужные компоненты и перенесла эти возможности и функции в температурный контроллер EZ-ZONE® RMT, обеспечивающий управление в замкнутом контуре со встроенной защитой от перегрева для каждого нагревателя с помощью всего двух проводов. Это помогает уменьшить количество ошибок при установке и упрощает поиск неисправностей.