Машина для нанесения покрытий MOCVD TurboDisc® MaxBright® MHP™

тонких слоев

Система Multi-Реактора MOCVD TurboDisc® MaxBright® MHP™ GaN представляет самую последнюю модульную систему высокой эффективности специально конструированную для того чтобы произвести превосходный выход улучшения единообразия длины волны в пределах-вафли до 20% над MaxBright подобных следа ноги, сервисопригодности, преимуществ и конфигурации плана. Выдвижения оборудования multi-реактора предлагают улучшенное единообразие длины волны через все вафли для того чтобы достигнуть более высоких выходов. MaxBright MHP также предлагает более низкое владение стоимое над MaxBright. Система совмещает множественные высокие реакторы MOCVD объём в модульном 2 - или зодчество группы 4 реакторов для того чтобы leverage технология FlowFlange® Veeco продукци-доказанные равномерные и экспертиза автоматизации. Основано на конструкции K465i Veeco highly-successful, система включает улучшенные реакторы выдвинутая которая обеспечивает расширенную емкость вафли и, proprietary, технологию управлением closed-loop термальную.