Машина для нанесения покрытий PVD NEXUS DLC-X

термическим испарениемдля облицовки углерода (алмазов)

Система осаждения NEXUS DLC-X представляет собой сверхтвердую технологию нанесения покрытий TFMH, устойчивую к коррозии. Он используется для нанесения однородных, плотных и повторяемых тонких алмазоподобных углеродных (DLC) пленок для обеспечения более длительного срока службы скользящего слоя TFMH и посадочных площадок NEXUS DLC-X выигрывает от первого в отрасли коммерческого источника импульсной фильтрованной катодной дуги. Это обеспечивает толщину слоя ниже 20 А и поддерживает расширенное ступенчатое покрытие для увеличения производительности процесса по сравнению с предыдущими поколениями Наряду с твердостью и повторяемостью пленки импульсная отфильтрованная катодная дуга обеспечивает исключительную однородность. Плотный слой семян кремния, не имеющий отверстий, образуется при длинном бросании и низком давлении PVD. Он также способен выполнять реактивный процесс PVD. Стабильная работа от 75 до 300 вольт энергии пучка достигается за счет регулируемого низкоэнергетического источника травления пучка ионов NEXUS 420.