Машина для нанесения покрытий с помощью пучка ионов SPECTOR®

тонких слоев

Система вывода ионного луча блокировки нагрузки SPECTOR для оптического нанесения покрытия Превосходная пропускная способность и повторяемость для широкого диапазона применений Система SPECTOR® Loadlock Ion Beam Sputtering System компании Veeco может обеспечить значительное повышение пропускной способности для различных применений. Система SPECTOR Loadlock System, способная начать осаждение в течение пяти минут после загрузки субстрата, может легко удвоить пропускную способность для конструкций, в которых время осаждения меньше, чем на стандартных этапах предварительной обработки, необходимых для пакетных инструментов. Повторяемость системы также повышается за счет способности поддерживать стабильное состояние технологических параметров, таких как давление, температура, состав поверхности цели и мощность источника ионов. Пользователи блокираторов нагрузки SPECTOR Loadlock могут рассчитывать на увеличение среднего времени между техобслуживанием (MTBM) таких компонентов, как нейтрализаторы радиочастот, футеровка камеры и экранирование, благодаря их меньшему воздействию атмосферы и влаги. В совокупности эти особенности и преимущества позволяют пользователям производить пленки высочайшей точности и качества, доступные на рынке, по меньшей мере по цене. Значительное увеличение производительности при нанесении покрытий малой/средней толщины Улучшенная воспроизводимость благодаря более стабильным условиям процесса Увеличение среднего времени между техническим обслуживанием нескольких ключевых компонентов Улучшенный контроль за частицами