для коррозионной среды, с двигателем, с шаговым двигателем
DN
МИН.: 160 mm (6,299 in)
МАКС.: 400 mm (15,748 in)
Давление
МИН.: 4 bar (58 psi)
МАКС.: 7 bar (101,5 psi)
Температура
МИН.: 0 °C (32 °F)
МАКС.: 120 °C (248 °F)
Описание
Оптимизированы для коррозионно-активных полупроводниковых и FPD процессов (например, травление), а также для процессов очистки между процессами осаждения. В режиме управления клапан работает практически без посторонних частиц. Техническое обслуживание может быть выполнено легко и быстро.
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.