Компактный расширитель DME-220

УСТАНОВКА ФОРМИРОВАНИЯ КАССЕТЫ КРИСТАЛЛОВ DME-220 Работа с пластинами диаметром до 200 мм Равномерная растяжка пленочного носителя во всех направлениях Нагрев рабочего стола Простота использования и технического обслуживания Установка DME-220 предназначена для создания равномерных промежутков между кристаллами разрезанной полупроводниковой пластины путем равномерной растяжки пленочного носителя во всех направлениях. Внедрение данной операции позволяет получить следующие преимущества: Повышение эффективности отмывки пластин/подложек после дисковой резки Упрощение процесса снятия кристаллов/элементов с пленочного носителя Отсутствие сколов на краях кристаллов, образующихся при их съеме с пленочного носителя, т.к. соседние кристаллы не соприкасаются друг с другом Растяжение пленки на установке DME-220 производится следующим образом: внутреннее кольцо пялец устанавливается на подогреваемый столик, внешнее кольцо пялец устанавливается в крышку, разрезанная пластина, закрепленная на рамке с пленочным носителем, устанавливается между столиком и крышкой. По команде оператора столик начинает подниматься вверх, растягивая пленку и смыкая внутреннее и внешнее кольца пялец. Таким образом, растянутая пленка с кристаллами оказывается зафиксированной в пяльцах. Установка производит нагрев пленки для повышения ее эластичности при растяжении. К другим настраиваемым параметрам процесса относятся длина хода столика, влияющая на величину растяжения пленки, а также скорость хода. Технические характеристики: - Диаметр обрабатываемых пластин, не более, мм - 200 Ход рабочего стола, мм - 25-75 Температура нагрева рабочего стола, не более, оС - 65 Напряжение питания, В - 220