Машина для очистки и нарезания на кубики SATURN

Высокоточный прецизионный шпиндель на воздушныхподшипниках 60 000 об/мин Бесконтактное измерение диаметра диска Точность разделения пластин/подложек до 3 мкм Жесткая конструкция установки, обеспечивающая минимальные вибрации при резке Дружественный интерфейс программного обеспечения Установка дисковой резки «САТУРН» предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек из полупроводниковых и диэлектрических материалов: Поликор ВК-100 Керамика ВК-94, ВК-40, Т-150 и др. Ситалл Кварц Ниобат лития Кремний Арсенид галлия Ферриты Карбиды Стекло и др. Высокое качество резки пластин/подложек обеспечивается благодаря жесткой конструкции корпуса, прецизионно отбалансированному валу шпинделя на воздушных подшипниках, а также плавной подачей заготовки. Система управления установки построена на базе компьютера промышленного исполнения с установленным программным обеспечением, которое обеспечивает работу установки в ручном и полуавтоматическом режимах. В ней использованы надежные комплектующие известных мировых производителей: платы управления Advantech Automation, пневматическая система - SMC, шаговые привода Oriental Motor, привод шпинделя KEB. В установке «Сатурн» реализованы новые алгоритмы позиционирования шпинделя по осям Y и Z, которые позволяют добиться точности резки и глубины врезания до 3 мкм. Текущее положение шпинделя контролируется линейными энкодерами. Установка оснащена датчиком бесконтактного измерения диаметра диска, который позволяет компенсировать износ диска в процессе работы.