Анализатор технологического газа QULEE RGM series

для наблюдениядля процессадавления

СИСТЕМА КОНТРОЛЯ РЕАКТИВНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ГАЗА - СЕРИЯ ШПИНДЕЛЕЙ КОЛЕСНЫХ ДИСКОВ Эта система мониторинга процесса была разработана для различных применений, таких как травление, CVD и другие процессы реактивного газа. Использование оригинального источника ионов и насосной системы ULVAC позволяет достичь стабильных результатов измерений, наиболее подходящих для травления / CVD аппаратуры Долгосрочные стабильные результаты измерений Закрытый источник ионов с использованием магнитного поля Мягкая ионизация обеспечивает меньшую диссоциацию газов и более высокую чувствительность. Разложение и адсорбция за счет термических реакций сводятся к минимуму в ионизационной камере. Компактный проводной клапан с 3 различными режимами впуска газа Короткое расстояние между технологической камерой и источником ионов позволяет быстрый ответ на анализ. Подходит для мониторинга технологических процессов Широкий диапазон давления от 1×10-6 до 13 кПа (от 7,5×10-9 до 97,5 Торр, 1×10-8-130мбар). (Выбор отверстий) Интегрированный дисплей Нет необходимости в ПК Простое управление Функция "Одно нажатие" Выпекать Максимум 120˚C (248˚F) Высокотемпературная выпечка Дега Функция Электронная бомбардировка дегазом Функции защиты и технического обслуживания Защита и обслуживание источника ионов и вторичного электрона множитель Прослеживаемость аналитической трубки (заявлен патент) Доступны различные испытания на утечки Проверка герметичности гелия, проверка герметичности воздуха, проверка герметичности воздуха Измерение общего давления Возможность измерения общего давления (внешний ионизационный манометр (GI-M2)) Qulee QCS входит в комплект поставки Данное программное обеспечение входит в комплект поставки и совместимо с (Windows XP/7)