Анализатор технологического газа QULEE CGM series

остаточного газадля наблюдениядля процесса

КОМПАКТНЫЙ МОНИТОР ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ГАЗОВ - СЕРИЯ ШПИНДЕЛЕЙ CGM "Qulee" (произносится как "KLEE"), является последней моделью анализа остаточного газа и мониторинга остаточного газа в процессе работы системы ULVAC. Обратная связь от инженеров-производителей на различных производственных линиях включена в новый дизайн продукта, предлагая максимальную простоту. Qulee обеспечивает высокую точность и разрешение даже при высоком давлении (1 Па или менее). Идеально подходит для систем с высокой производительностью Идеально подходит для мониторинга процесса распыления различных напыляющих систем Дифференциальная насосная система не требуется Дифференциальная насосная система не требуется (при давлении 1 Па (7,5×10-3 Торр, 1×10-2 мбар) или ниже) Интегрированный дисплей Нет необходимости в ПК Простое управление Функция "Одно нажатие" Выпекать Максимально 120˚C (248˚F) высокотемпературная выпечка (250˚C (482˚F), когда сенсоры удалены) Дега Функция Электронная бомбардировка дегазом Функции защиты и обслуживания Поддержание защиты источника ионов и вторичного множителя электронов вспомогательная функция Прослеживаемость аналитической трубки (заявлен патент) Доступны различные течеискатели Проверка герметичности гелия, проверка герметичности воздуха, проверка на наличие скоплений гелия Измерение общего давления Возможность измерения общего давления (ионизационный манометр) Qulee QCS входит в комплект поставки Данное программное обеспечение входит в комплект поставки и совместимо с (Windows 7/8) QIP (Пакетная система быстрой установки) входит в комплект поставки Автоматический измерительный пакет (подробности см. в каталоге опций) Применимый Стандарт Соответствует требованиям CE Мониторинг процесса для фотоэлектрических, FPD и полупроводниковых систем Анализ остаточных газов в системе PVD Контроль загрязнений (H2O и т.д.) в PVD-системе Для проверки герметичности