Источник электропитания на ножке TruPlasma MF Series 7000 (G2)

AC/ACдля использования в промышленностивысокая мощность

Обзор
TruPlasma MF Series 7000 (G2) обеспечивает полный контроль процессов MF‑спаттеринга за счёт улучшенного управления дугой и характеристик розжига. Предназначен как источник питания для крупноформатного напыления и требовательных реактивных процессов, таких как двойной магнитрон. Пиковая эффективность превышает 90%, эксплуатационная эффективность — свыше 80%, а эффективное управление охлаждающей водой снижает эксплуатационные расходы.

Основные преимущества

• Высокое качество покрытия и производительность: отличные результаты и высокая скорость нанесения даже в требовательных реактивных процессах.
• Максимальная эффективность: пиковая эффективность > 90%; эксплуатационная эффективность > 80%.
• Стабильное питание при любых условиях окружающей среды: надёжно даже при высоких температурах охлаждающей воды и низком перепаде давления.
• Глобальная применимость: широкий диапазон подключаемого напряжения без технических адаптаций.

Применения

• Крупноформатное напыление (например, архитектурное стекло) — важны стабильность и однородность.
• Покрытие плоских экранов и сенсорных панелей с помощью двойного магнитрона для нанесения ультра‑тонких слоёв AlxOx.
• Производство солнечных элементов и нанесение прозрачных проводящих покрытий (TCO) на solar‑стекло методом MF‑спаттеринга.

Выгоды для клиента / Управление процессом

• Точное управление процессом с небольшим числом параметров для балансировки чувствительности к дуге и производительности.
• Улучшенное управление дугой: высокая скорость реакции, сниженная остаточная энергия и предотвращение повреждений мишени дугой; поддержка переходного режима с управлением по напряжению.
• Различные интерфейсы и программное обеспечение TruControl Power обеспечивают удобную конфигурацию и диагностику.

Опции

• Активная осушка электрического шкафа для условий очень высокой влажности (требует управления охлаждающей водой).
• Дверь шкафа с особо большим углом открытия (опция 180°; стандарт 130°).
• Интерфейсы: Profinet, Profibus, EtherCAT, аналоговые и цифровые входы/выходы для интеграции.
• Сверхбыстрое управление дугой (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW опция; стандарт ≤ 10 mJ/kW). Для UltraFastTreatment требуется категория безопасности 3.
• Вспомогательное зажигание для уменьшения образования дуг и теплового напряжения; напряжение зажигания и время нарастания регулируются.
• Опция расширенного диапазона частот: 20–70 кГц для MF‑генераторов до 100 кВт (стандарт 20–50 кГц).

Программное обеспечение
TruControl Power: удобное многоязычное ПО для управления, настройки и диагностики генератора.

Состав системы и аксессуары

• Оптимизированные MF‑силовые кабели TRUMPF Hüttinger в комплекте для обеспечения оптимальной работы системы.
• Выбор подходящих компонентов системы для адаптации TruPlasma MF Series 7000 (G2) к среде установки.

Загрузки
Брошюра продукта доступна в формате PDF.

Технические характеристики

• Наименование: TruPlasma MF Series 7000 (G2)
• Бренд: TRUMPF
• Пиковая эффективность: > 90%
• Типичная эксплуатационная эффективность: > 80%
• Диапазон мощности: MF‑генераторы доступны до 100 кВт (варианты и опции)
• Стандартный диапазон частот: 20–50 кГц; опционально: 20–70 кГц (до 100 кВт)
• UltraFastTreatment (опция): ≤ 1 mJ/kW; стандартная обработка ARC: ≤ 10 mJ/kW
• Требование безопасности для UltraFastTreatment: категория безопасности 3
• Вспомогательное зажигание: регулируемые напряжение зажигания и время нарастания
• Дверь шкафа: стандартное открытие 130°; опция 180°
• Охлаждение: эффективное управление охлаждающей водой; надёжная работа при высоких температурах воды и низком давлении
• Интерфейсы: Profinet, Profibus, EtherCAT, аналоговые и цифровые I/O
• Программное обеспечение: TruControl Power (многоязычное) для управления, настройки и диагностики
• Типичные применения: двойной магнитрон, крупноформатное покрытие, реактивные процессы, тонкоплёночные покрытия для дисплеев и фотоэлектрических устройств