Вакуумметр с комбинированным датчиком (Пьезо/Пирани) VSL

RS485EtherCAT

Вакуумный датчик VSL был разработан специально для грузовых замков. Металлический герметичный манометр использует мультисенсорную технологию и объединяет два пьезодатчика с датчиком Пирани. Таким образом, вакуумный датчик измеряет абсолютное давление в диапазоне 1200 ... 1e-4 мбар, а также относительное давление по отношению к окружающей среде в диапазоне -1060 ... +340 мбар. Обзор вакуумного преобразователя VSL с мультисенсором Piezo/Pirani: - Интегрированная мультисенсорная система: Два пьезодиафрагменных датчика для контроля откачки и подъема воздуха в камере; датчик Пирани, измеряющий давление до 10-4 мбар, контролирует передачу низкого давления между блоком загрузки и технологической камерой, сводя к минимуму появление частиц - Цифровые интерфейсы RS485 плюс выходной сигнал 0-10 В, EtherCAT или PROFINET - Выход дифференциального давления для точного срабатывания функции открывания двери - Высокая точность, оптимальное разрешение и отличная стабильность - Короткое время отклика до 40 мс - Стабильные показания благодаря оптимизированной температурной компенсации - Измерения независимо от типа газа при давлении выше 20 мбар