Разрушитель озона CAT-O3 series

Озоновые деструкторы серии CAT-O3 безопасно разлагают высокие концентрации озонового газа до субпм уровней, которые ниже рекомендуемых пределов безопасности озона. Каталитический метод разложения использует катализатор из оксида металла для пассивного преобразования озона в кислород. Уничтожители озона серии CAT-O3 изготовлены из сварного корпуса из нержавеющей стали, защищенного тепловым экраном. Они тщательно разработаны для удовлетворения строгих отраслевых требований к безопасности Особенности - Цельносварная конструкция - Самодостаточный - Быстрое время реакции - Отсутствие расходных материалов - Не требует обслуживания - Простая установка Полупроводник - CVD TEOS/Озон - ALD - MOCVD - Ашерс - Мокрые стенды - Инструменты для распыления - Другое