Система газового контроля SCI-552

SCI-552 является системным контроллером для систем доставки озона, который обеспечивает электронные интерфейсы управления для ряда типовых компонентов системы, включая: генераторы озона, EV клапаны, регуляторы массового расхода, регуляторы обратного давления, датчики озона Teledyne API 452, датчики растворенного озона Teledyne API 470, а также охладитель воды. SCI-552 оснащен аппаратной и программной поддержкой ряда функций системной блокировки. SCI-552 обеспечивает гибкость для конечного пользователя, позволяя управлять системой через пользовательский интерфейс на передней панели, последовательный интерфейс MODBUS или различные дискретные цифровые и аналоговые точки входа/выхода. SCI-552 предназначен для поддержки двух генераторов озона, обеспечивающих два независимых канала выхода озона. Особенности - Дистанционная поддержка RS-232 MODBUS - Управление до 2 генераторов озона - Интерфейс с 2 датчиками озона модели 452 и 470 - Управление до 4 контроллеров массового расхода - Управление до 2 контроллеров противодавления - Управление до 2 EV клапанов - Контролировать охладитель воды - Входы системной блокировки - Удаленное управление на уровне системы и входы/выходы статуса Заявления Химическое осаждение из паровой фазы (ХОП) - Осаждение атомных слоев (ALD) - рост оксидов - Кондиционирование поверхности - Ashing - Очистка от частиц - Удаление фоторезиста - Другие