Модель 470 - это современный датчик растворенного озона, предназначенный для полупроводниковых инструментов для мокрых стендов и многих других промышленных процессов. Он обеспечивает непрерывное измерение растворенного озона в деионизированной воде или серных ваннах с концентрацией до 150 мг/л. Модель 470 "готова к работе" для высокочистых полупроводниковых процессов и предназначена для простого сращивания в линию в контуре рециркуляции любого мокрого настольного инструмента со скоростью потока до 150 SLPM
Датчик модели 470 включает в себя инновационную технологию измерения образца по двум оптическим путям, что обеспечивает непревзойденную производительность и практически устраняет необходимость в эталонном измерении жидкости
Типичная установка состоит из датчика 470 и соединительного тефлонового кабеля в оболочке 7. Сенсор 470 позволяет дистанционно передавать измеряемую концентрацию по аналоговым или цифровым сигналам на консоль мокрого стола
Особенности
- локальный мониторинг
- Встроенная, полнопоточная возможность
- Прямолинейный проток
- Нет движущихся частей
- Никаких расходных материалов
- Диапазоны до 150 мг/л
- Дистанционная калибровка нуля
- Высокоточный метод УФ-поглощения
- Метод считывания образца по двум оптическим путям
- Регулярное техническое обслуживание не требуется
- Полупроводниковые смачиваемые материалы
- Компактный корпус из стеклопластика
- соединительный кабель в тефлоновой оболочке7
---