Линейный координатный стол MT130

электрический1 осьс перекрестными роликами

MT130 Компактная линейная ступень с внутренним двигателем Миниатюрная линейная ступень обеспечивает отличную прямолинейность и плоскостность благодаря роликовым подшипникам. Привод полностью размещен в компактной системе позиционирования. - Перемещение до 80 мм в небольших монтажных пространствах (130 x 130 x 43 мм) - Повторяемость до 2,3 мкм - Легко укладывается в компактные многоосевые системы Опции: - Доступны варианты с двигателем постоянного тока или шаговым двигателем - 3-осевое компактное устройство: MP130-3 - Комбинируется с поворотным столом DT130 - Опция из нержавеющей стали для повышения жесткости - Версия для чистых помещений, вакуума и EUV Области применения Позиционирование в малых пространствах, например, камеры, микроскопа (AFM, WLI), настройка многоосевых систем XYZ с минимальным пространством, манипуляторы для промышленности и исследований, компактные системы позиционирования в чистых помещениях, инспекция пластин, выравнивание вафельных преобразователей Технические данные: - Ход: 50 мм, 80 мм - Повторяемость однонаправленная: ± 2,3 мкм - Повторяемость двунаправленная: ± 4,3 мкм - Точность: ± 8,1 мкм, ± 9,7 мкм - Скорость позиционирования: 20 мм/с - Макс. ускорение: 0.4 м/с2 - Макс. Нагрузка Fx: 45 N - Макс. Нагрузка Fy: 95 N - Макс. Нагрузка Fz: 95 Н