Оборудование для наблюдения за газом PPM100

PPM100 - это автономный контроллер/монитор для анализаторов остаточных газов SRS. Он измеряет парциальное давление от SRS RGA и общее давление от четырех емкостных манометров. Графический вывод доступен на сенсорном ЖК-дисплее. PPM100 имеет 8-канальную возможность управления процессом, четыре аналоговых порта ввода/вывода, компьютерные интерфейсы RS-232, USB и GPIB, а также веб-интерфейс. Анализ остаточного газа PPM100 предназначен для мониторинга и управления одним SRS RGA. Пользовательский интерфейс, управляемый меню, позволяет оператору легко программировать параметры RGA с передней панели (т.е. не требуется ПК). Данные RGA можно просматривать в виде аналогового сканирования, парциального давления в зависимости от времени, тенденции утечки (со звуковым сигналом) или показаний отдельных масс. Эти данные также могут быть связаны с аварийными сигналами, реле управления процессом и аналоговыми портами для замкнутого цикла управления конкретными газами компонентов. Снимок экрана 1 Аналоговые входы/выходы PPM100 имеет четыре конфигурируемых аналоговых порта ввода/вывода. Они могут использоваться в качестве выходов для управления вспомогательным вакуумным оборудованием, таким как нагреватели, исполнительные механизмы, источники ионов, программируемые логические контроллеры и дроссельные регуляторы. В качестве входов можно одновременно контролировать до четырех емкостных манометров. Регистрация данных Данные со всех манометров (и всех аналоговых входов) сохраняются с заданной пользователем скоростью. Типичные приложения включают регистрацию кривых откачки или выпуска воздуха, мониторинг сигналов контроллера массового расхода во время процессов осаждения, а также мониторинг температуры и других переменных, зависящих от времени, во время запекания или термообработки.