Магниты SCI TRM-Bar™ и QRM-Bar™ обеспечивают необходимую гибкость. Магнитные узлы, поставляемые с герметичными магнитами, могут быть адаптированы в соответствии с требованиями технологического процесса.
SCI расширенные функции магнитной системы включают в себя:
Несколько магнитных конструкций для соответствия вашим требованиям применения
Усовершенствованные магниты, разработанные с использованием программного обеспечения для трехмерного конечного элементного анализа
Тщательно подобранные высокопрочные магниты, которые откалиброваны на заводе-изготовителе с помощью автоматического инструмента для измерения магнитных стержней
Полностью герметичные магниты и прочная конструкция для многолетней бесперебойной работы
Долговечная, многороликовая система для брызгания вверх, вниз или вне угла распыления
Регулировка магнитной однородности может быть легко выполнена в полевых условиях
Простая процедура установки с решениями для вертикальной установки
Особенности
TRM-Bar™
Отраслевой проверенный дизайн с тысячами баров в настоящее время в эксплуатации
Высокоскоростной реактивный режим или режим металла напыление пленок оптического качества
mQRM-Bar™
Малая 4-рядная конструкция магнита увеличивает прочность на 50% над TRM
Нет плазмообразующего поля полоски
Более низкое сопротивление, чем TRM
QRM-Bar™
Более сильные "запатентованные" магниты для низкоомного распыления TCO и других пленок электрического класса
Повышенная эффективность распыления снижает энергопотребление и эксплуатационные расходы
SRM80-Bar™ и TRM80-Bar™
Высокопрочные магниты, которые герметично закрыты
Усовершенствованные магниты, разработанные с использованием программного обеспечения для трехмерного анализа методом конечных элементов
Магниты подобраны по прочности в пределах 1%
Большой магнит, однорядная конструкция
Простота установки в любой возможной ориентации
---