Ротационный магнетрон CM

плоскийдля ионного распыления

CM является нашим самым компактным торцевым блоком для наружного монтажа. Он может обрабатывать мишени до 1000 мм и имеет номинальную мощность до 20 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC Торцевой блок CM для наружного монтажа сочетает в себе высокую производительность и надежность в очень компактной и легкой конструкции. Особенности Настраиваемая длина приводного вала Компактный и гибкий дизайн Легкий доступ картридж водяного уплотнения Запатентованная технология энергоснабжения Запатентованное целевое заполнение воды и слив Простой дизайн для меньшего количества деталей Магнитная полоса снаружи регулирует к любому углу Преимущества Более широкое покрытие подложки, чем внутренние торцевые блоки Подходит для большинства камерных конструкций Все утилиты являются внешними и остаются подключенными во время смены цели Высокая плотность упаковки; двойные катоды в 220-миллиметровом пространстве (с 80-миллиметровой идентификационной мишенью) Приводные двигатели могут монтироваться как вверх или вниз, так и внутрь или наружу Высокая мощность без индуктивного нагрева - нет щеточной пыли Быстрое, простое, внутреннее обслуживание Позволяет выполнять со-распыление, более плотное плазменное соединение и ограничивает экранирующее покрытие