- Станки SpeedFam 50-SPAW и 59-SPAW представляют собой автоматизированные односторонние механохимические полировальные системы для обработки голых кремниевых пластин. Мы автоматически транспортируем керамические монтажные пластины (загруженные и разгруженные пластинами). Эти системы оснащены различными передовыми технологиями, такими как полировочные пластины с низким тепловым расширением и охлаждающие рубашки, независимый принудительный привод и прецизионный контроль давления для каждого технологического носителя.
---