Ротационный координатный стол MR-30028

с закрытым контуромалюминийс прямым приводом

Ротационный стенд SMARSHIFT MR-30028 - это ротатор большой площади с диаметром 300 мм и большой апертурой 110 мм. Он отличается высокой скоростью, высоким крутящим моментом и длительным сроком службы при бескомпромиссной точности. Его компактные размеры и низкий профиль упрощают интеграцию в существующие системы и оставляют достаточно места для вашего приложения. Области применения Ротатор MR-30028 был специально разработан в качестве этапа вращения пластин. Как платформа для пластин диаметром до 300 мм (12 дюймов), он может использоваться для метрологических методов (таких как рефлектометрия, рефлексионная спектроскопия, спектроскопическая эллипсометрия (VASE) и другие) или для производства (для склеивания пластин, EUV-литографии и других). Дополнительные области применения включают оптическое выравнивание тяжелых объектов в фотонике и астрономии. Технические характеристики Макс. Нормальное усилие [Н] - 1000 Размеры [мм] - ⌀ 300 × 28 Вес [г] - 5000 Диафрагма [мм] - 110 Материал Материал основания - алюминий, черное анодирование Открытый контур Угловая скорость [°/с] - 540 - Замкнутый контур Типы датчиков - S Разрешение датчика [µ - <1 Угловая скорость [°/с] - 540