Система позиционирования XYZ

лазеркомпактная

Система позиционирования XYZ удерживает головку датчика и сканирует лазерный луч над образцом. Система позиционирования XYZ используется для позиционирования зондирующего луча интерферометра и его сканирования над интересующей областью. Система позиционирования построена на трех позиционерах SmarAct с замкнутым контуром, заключенных в компактный защитный корпус. Каждый позиционер имеет максимальный диапазон сканирования 20 мм и повторяемость 50 нм. Сенсорная головка установлена на самом нижнем позиционере. Система позиционирования XYZ установлена на стойке диаметром 25 мм, поэтому ее высота легко регулируется для размещения образцов различных размеров. Можно даже снять систему позиционирования с монтажной стойки, чтобы установить ее в индивидуальную установку или совместить с другим прибором.