Линейный координатный стол DLS-5252

пьезоэлектрическийс закрытым контуромкомпактный

Гибридные приводные ступени сочетают в себе преимущества ступеней с большим диапазоном перемещения "палка-скольжение" и пьезосканеров высокого разрешения. Как и все гибридные приводные ступени SmarAct, DLS-5252 сочетает в себе преимущества длинноходовых палочково-скользящих ступеней и пьезосканеров высокого разрешения. DLS-5252 совместим с модульной системой SmarAct, что означает, что этап может быть легко установлен на этапы CLS-52, эквивалентные этапы вращения и все адаптерные пластины и соединительные элементы. Для работы этапа требуется только один канал MCS2, хотя он состоит из двух разных приводных блоков. Механический Диапазон сканирования [мкм] > 35 Усилие блокировки [Н] > 3,5 Макс. Нормальное усилие [Н] 5,0 Макс. Усилие подъема [Н] > 1,5 Вес [г] - 130 Размеры [мм] 52 x 52 x 15 (Д x Ш x В) Резонансная частота (без нагрузки) [Гц] - > 350 Замкнутый контур Разрешение замкнутого контура MCS2 [нм] - 1 (S) Частота среза развертки [Гц] - > 10