Виброметрическая система для микроструктур и МЭМС
- высокоточное бесконтактное измерение вибрации микрообъектов
- простота настройки и обращения
- широкие возможности запуска
- X-Y стол 50 мм x 50 мм, другие варианты по запросу
- Объектив микроскопа 10x, 20x, 50x
- Диаметр пятна 2 мкм - 10 мкм (в зависимости от объектива)
- Возможно использование виброметра в OEM-производстве
- открытые интерфейсы для программного обеспечения OEM под Windows и Linux
- Программное обеспечение FFT для спектрального анализа
Нано-вибрационный анализатор NA представляет собой комбинацию виброметра с волоконной связью серии LSV 120 NG и инженерного микроскопа. Система идеально подходит для измерения динамического поведения и статического прогиба микроструктур, МЭМС и кантилеверов. В зависимости от используемого объектива размер пятна измерения может составлять менее 2 мкм.
Измеряемый объект можно позиционировать и сканировать в широком диапазоне с помощью X-Y-штатива и наблюдать за ним через камеру. Объектив микроскопа является сменным и определяет как видимый диапазон, так и диаметр лазерного пятна. Достижимое разрешение смещения лазерного интерферометрического виброметра находится в пикометровом диапазоне, при этом можно анализировать вибрации с частотой до 5 МГц.
Для сбора и отображения данных измерений предлагается специально разработанное программное обеспечение. Помимо частотного анализа вибрации и записи измерений, это программное обеспечение позволяет управлять X-Y столом и внешним генератором частоты. Более сложные последовательности измерений могут быть автоматизированы с помощью скриптов.
---