Цилиндрический магнетрон

плоский

SIDABRE разрабатывает одно- и двухмагнитные магнитроны с плоской и цилиндрической геометрией, которые могут использоваться как отдельные компоненты, так и интегрироваться в систему. Эти устройства могут быть оснащены специальными функциями, такими как зажатые или склеенные мишени, прямое или косвенное охлаждение, а также внешнее или внутреннее подключение питания и охлаждающей воды. Максимальная доступная длина прямоугольных и цилиндрических мишеней составляет 2,0 м. Максимальный доступный диаметр круглых мишеней составляет 400 мм. Мы разрабатываем различные типы цилиндрических вращающихся магнетронов с вращением либо на мишени, либо на магнитах, в зависимости от требований конкретного процесса. Наши вакуумные системы нанесения покрытий оснащены необходимыми средствами для удовлетворения особых потребностей заказчика с помощью индивидуальных решений. SIDRABE может поставлять системы, оснащенные магнетронами с или без источников питания и систем управления, а также PEM и системы подачи газа, питающиеся от источников питания постоянного тока, импульсно-постоянного или среднечастотного тока. Наш обширный опыт в проектировании оборудования позволяет компании "SIDRABE" дополнительно предлагать такие услуги, как модификация, модернизация и дооснащение существующих систем вакуумного напыления.