Датчики массового расхода серии FS1100 производятся с использованием запатентованной компанией Siargo технологии MEMS (микроэлектромеханических систем) калориметрии с диффузионной чувствительностью (Thermal-D ®), которая
измеряет калориметрию и диффузионную способность текучей среды. Эта технология по сравнению с обычным калориметрическим измерением обеспечивает гораздо лучшую линейность во всем динамическом диапазоне, устраняет газовую чувствительность для газов, имеющих сходную тепловую диффузию, и повышает точность измерения при использовании коэффициента преобразования газа. Кроме того, он одновременно выводит данные о температуре текучей среды и улучшает температурные характеристики метода теплового зондирования.
---