Варочная печь STS-VCS

вакуумная

Серия STS является результатом десятилетий опыта в проектировании и производстве печей с низким содержанием частиц. Эти надежные системы обеспечивают полное удаление остаточных растворителей, равномерное распределение температуры, контроль давления, сухую инертную атмосферу и точное управление скоростями нагрева и охлаждения. Детали продукта Характеристики: 1. - Вакуумная обработка с отличным контролем давления 2. - Рабочая температура: окружающая среда до 450°C (опционально высокотемпературная версия: окружающая среда до 550°Q 3. - Равномерность температуры: ± 5°C во время выдержки 4. - Ламинарный поток газа параллельно пластинам 5. - Циклы откачки и продувки для снижения содержания O 6. - Дополнительное программное обеспечение для управления процессом: Модуль, совместимый с SEMI E5-0308 и SEMI E30-0307 Стандартная конфигурация: 1. - Более быстрый процесс: 3.5 часов против 8+ часов 2. - Ламинарный поток уменьшает/удаляет частицы 3. - Концентрация O: менее 10ppm после 3 циклов прокачки и продувки 4. - Более полное отверждение (в 5 раз меньше газовыделения) 5.в 1,6-2 раза меньше потребление электроэнергии и N: 6. Значительно более низкие капитальные затраты, в 2-3 раза более низкий уровень CoO Области применения: 1. - Отверждение полиимида/ПБО 2. - Запекание BCB 3. - Низкотемпературное отверждение полимеров 4. - Отжиг меди 5. - Низкотемпературное диэлектрическое отверждение Сектора 1. - Передовая упаковка 2. - Датчик изображения КМОП 3. - Выдвижная упаковка на уровне пластины (FOWLP) 4. - Отжиг и дегазация полупроводникового фронтэнда 5. - Радиочастотные устройства