Машина для нанесения покрытий PECVD PECVD

тонких слоев кремния

·Слои туннельного оксида, i-poly и D-poly можно наносить в одной и той же печной трубе, что позволяет сократить количество технологических операций, повысить выход готовой продукции и эффективно снизить количество брака; ·Отсутствие эффектов «горячей стенки», благодаря чему кварцевая трубка имеет длительный срок службы; ·Незначительное наслоение на стенках, которое легко удаляется; ·Точное легирование; возможность введения других легирующих элементов, повышающих эффективность, что подходит для расширения технологического процесса и открывает широкие возможности для повышения эффективности; ·Запатентованная технология подавления проводимости.