Машина для нанесения покрытий PECVD

тонких слоев

·Быстрое радиочастотное зажигание с минимальной отраженной мощностью для равномерного и стабильного осаждения пленки; ·Отлаженная и стабильная технология многоканальной подачи газа в РЧ-системе, совместимая даже с большими технологическими камерами; ·Плавное регулирование подачи газа между диффузором и подложкой, обеспечивающее гибкие технологические возможности; ·Высокая производительность при относительно низких затратах, с возможностью индивидуальной настройки конструкции изделия; ·Модульная конструкция, обеспечивающая простоту монтажа и технического обслуживания, в сочетании с самыми строгими протоколами безопасности на всех этапах — от проектирования до изготовления.