·Производительность: 600 шт./партия, 14 400 шт./ч (пластины 210 мм); 720 шт./партия, 17 280 шт./ч (пластины 182 мм);
·Совместимость с процессами травления и полировки обратной стороны, а также текстурирования обратной стороны монокристаллических пластин;
·Подходит для использования с различными добавками;
·Толщина пластин до 120 мкм;
·Оснащено зоной сухой очистки и системой самоочистки;
·Быстрая замена ванны в линии;
·Совместимо с системами MES и RFID; опционально — встроенный контроль веса.
---