Акселерометры MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - это акселерометры, изготовленные по технологии MEMS. Благодаря использованию технологии микроэлектромеханических систем, их размеры значительно уменьшаются, и акселерометр MEMS имеет размер всего лишь с ноготь. Преимуществами МЭМС-акселерометров являются малые размеры, небольшой вес и низкое энергопотребление.
ER-MA-6 - это инерционный датчик, который может измерять линейное ускорение, вызванное силой тяжести. Этот продукт представляет собой МЭМС-акселерометр с большим диапазоном, сверхвысокой точностью, высокой надежностью и низким энергопотреблением.
Характеристики
Большой диапазон, сверхвысокая точность, высокая надежность и низкое энергопотребление
Класс II Нелинейность: <10 мкг/г2
Стабильность смещения (1 с плавно) (1σ): <15ug
Стабильность смещения (10 с плавно): <5ug
Нестабильность смещения (кривая Аллана): <2ug
Области применения
Инерциальные измерения: инерциальное наведение, измерение перегрузки, интегрированная навигация
Измерение наклона: положение антенны, измерение платформы, испытание угла наклона
Измерение вибрации: механическое оборудование, мосты и плотины, испытания на безопасность
Технические характеристики
Инкапсуляция - CLCC48
Ось - Y
Диапазон - 60 - g
Коэффициент нелинейности шкалы - 150 - Гц
Групповая задержка - <3 - мс
Класс II Нелинейность - <10 - мкг/г2
Шум - <30 - мкг/√Гц @1гц
Пороговое значение - <30 - мкг
Заводская погрешность (комнатная температура) - <±1 - мг (калибровочное значение при комнатной температуре)
Дрейф заводской погрешности - <±0,5 - мг
Гистерезис заводской погрешности - <0,2 - мг
---