Модель 225 компании Setra идеально подходит для систем подачи высокочистых газов в полупроводниковых процессах и системах управления, где требуется сверхчистая работа, высокая производительность и исключительная долговременная стабильность.
GCT-225 имеет малый объем полости (0,11 дюйма), что практически исключает захват частиц, и легко поддается продувке. Все смачиваемые детали изготовлены из нержавеющей стали 316L VIM/VAR, пассивированной до 5 Ra (макс. 7 Ra), что устраняет неровности поверхности и обеспечивает надлежащий химический состав поверхности для коррозионной стойкости, гарантируя распределение газа без загрязнений. Каждый датчик протестирован масс-спектрометром на утечку гелия до 1 x 10-9 ATMCC/сек.
Модель серии 225 оснащена вращающейся крышкой для легкого доступа к 12-оборотным потенциометрам для настройки нуля и диапазона. Стандартные поворотные фитинги с наружным или внутренним торцевым уплотнением отвечают требованиям полупроводниковой промышленности. Кроме того, доступны несколько других типов фитингов.
Модель 225 поставляется с выходом 5 В постоянного тока, 10 В постоянного тока или 4-20 мА. Для электрического подключения предусмотрен шестифутовый многопроволочный кабель или разъем Bayonet. Запатентованный датчик переменной емкости Setra имеет мембрану из нержавеющей стали VIM/VAR 316L и изолированную электродную пластину. Между корпусом датчика и электродной пластиной образуется переменный конденсатор. Увеличение давления приводит к небольшому округлению мембраны, что уменьшает емкость. Изменение емкости регистрируется и преобразуется в высокоточный линейный электрический сигнал постоянного тока. Уникальная интегральная схема Setra использует запатентованный принцип баланса зарядов и практически невосприимчива к электромагнитным и радиочастотным помехам.
Области применения
- Газовые шкафы
- Системы подачи газа высокой чистоты
---