Установка оптической литографии NPS300

NPS300 - это высокоточный и высокосильный степпер, предназначенный для наноимпринтинга. Оптимизированный для тиражирования наноструктур с точностью ± 0,5 мкм, NPS300 является первым в истории инструментом, способным сочетать совмещенную литографию горячего тиснения и УФ-НИЛ на одной платформе. NPS300 способен печатать геометрии размером менее 20 нм с точностью наложения 250 нм. Его гибкая архитектура обеспечивает превосходную воспроизводимость процесса и уникальную возможность нанесения рисунка на большие площади в режиме последовательных шагов и повторов на пластины размером до 300 мм. Это позволяет с минимальными затратами изготавливать большие штампы с повторяющимся рисунком. - Точность ± 0,5 мкм - Режим Step & Repeat на пластинах до 300 мм - Автоматический захват штампа - Технология воздушных подшипников и гранитная конструкция обеспечивают долговременную стабильность и надежность - Контроль параллельности для обеспечения высокой точности даже при больших усилиях - Ручная/полная автоматическая калибровка - Автоматический цикл и независимость от оператора - Высокая производительность благодаря жесткой конструкции - Запись процесса для разработки, файлы журнала для отслеживания производства