DF-750 ULTRA - первый выбор в области анализа влажности для полупроводниковой промышленности
DF-750 ULTRA - это трассовый/ультратрассовый анализатор, оптимизированный для проведения лучших в отрасли измерений влажности в газах сверхвысокой чистоты (UHP), используемых на 300-мм полупроводниковых заводах.
Высокостабильные трассировочные/ультратрассировочные измерения TDL
Бескомпромиссное решение
Высокая надежность
Прибор DF-750 ULTRA, разработанный специально для проведения трассировочных и ультратрассировочных измерений влажности в ряде газов UHP, оптимизирован для 300-мм полупроводниковых фабрик. Он измеряет влажность как загрязнитель в газах азота, водорода, гелия, аргона и кислорода, используемых в электронике.
Технология определения влажности с помощью перестраиваемого диодного лазера (TDL) обеспечивает лучший в отрасли нижний предел обнаружения (LDL) в 55 частей на триллион (ppt), гарантируя стабильные и высокоточные измерения DF-750 ULTRA, отвечающие требованиям точного контроля в полупроводниковом производстве.
Надежный прибор DF-750 ULTRA не требует длительного технического обслуживания и обеспечивает стабильность при нулевом дрейфе, что значительно увеличивает интервалы между калибровками. Низкая стоимость владения в сочетании с исключительными характеристиками измерений означает, что DF-750 ULTRA - это аналитическое решение первого выбора для проверки качества UHP-газа.
DF-750 ULTRA разработан для удовлетворения исключительных стандартов чистоты газа, требуемых производителями полупроводников во всем мире. Используя передовую технологию TDL-сенсинга, размещенную в прочной и устойчивой ячейке Herriot Cell, DF-750 ULTRA позволяет избежать контакта влаги с оптическими компонентами сенсора. В результате анализатор обеспечивает сверхчувствительность,
---